光學(xué)鍍膜機電子槍安裝與維護
2019-01-08 來(lái)自: 肇慶高要區恒譽(yù)真空技術(shù)有限公司 瀏覽次數:1234
光學(xué)鍍膜機電子槍安裝與維護:
一、電子槍安裝與維護
電子槍蒸發(fā)源控制系統是由電子槍燈絲電源、高壓電源、掃描電源、坩堝驅動(dòng)電源、蒸發(fā)源等組成一個(gè)電子槍控制電樞。
電子槍控制電樞內含有高壓,在工作前必須保證柜門(mén)各個(gè)聯(lián)鎖裝置正常工作,非專(zhuān)業(yè)人員不得打開(kāi)電樞門(mén),電子槍在工作時(shí)不得打開(kāi)電柜門(mén),整個(gè)電柜必須有良好的接地并與機臺接地連接。
電子槍蒸發(fā)源安裝在真空室底板上,必須與底板有良好的接地效果,安裝蒸發(fā)源必須使用不銹鋼螺絲來(lái)固定,周邊200mm以?xún)炔坏糜袑Т诺奈矬w,否則會(huì )影響到電子槍的光斑成表,造成電子性能的不良。電子槍檔板應盡量裝在蒸發(fā)源坩堝的中心上30mm處,以不影響電子束的發(fā)射為好。
電子槍蒸發(fā)源是一個(gè)精密機械加工體,在工作時(shí)必須保證有良好的冷卻水,如過(guò)高的溫度會(huì )影響電子束的成型及各密封圈的性能。
(一)電子槍頭
電子槍的槍頭安裝好壞直接影響到工作的正常進(jìn)行,其發(fā)生的故障有90%同電子槍槍頭有關(guān)。
電子槍槍頭有使用一段時(shí)間后,會(huì )因為組件的污染而影響電子束的成型及功率,需要拆卸清潔。
(二)坩堝的維護
拆坩堝之前,請先關(guān)掉水路用壓縮空氣把電子槍冷卻管內的水分盡可能吹干凈。
蒸發(fā)源裝卸順序:
1.拆落兩條冷卻水連接管。2.擰出電子槍槍頭連接高壓線(xiàn)兩個(gè)螺絲。3.拆坩堝傳動(dòng)連接座、聯(lián)軸器。4.擰落蒸發(fā)源四個(gè)固定螺絲。5.把蒸發(fā)源搬運到一個(gè)穩定平整的工作臺。6.拆落坩堝蓋板四個(gè)螺絲,取下蓋板打磨干凈。7.檢查蓋板上面兩個(gè)密封圈是否需要更換。8.把蒸發(fā)源反轉過(guò)來(lái)倒置,用木板墊住坩堝部分。9.擰下固定坩堝轉動(dòng)四個(gè)螺絲10.抬起蒸發(fā)源,取下坩堝 11.把坩堝倒置,擰下坩堝底蓋的八個(gè)螺絲,清洗干凈里面的污垢,檢查是否需要近密封圈。12.擰下導水管的一個(gè)螺絲13.擰下坩堝轉動(dòng)機構與坩堝蓋板連接的四個(gè)螺絲 14.撥出坩堝轉動(dòng)軸,檢查轉動(dòng)軸的油封是否需要換件 15.把坩堝清潔干凈安裝。安裝按上面的倒過(guò)順序來(lái)進(jìn)行。
(三)導磁板及掃描圈的維護
導磁板及永磁鐵是不需要經(jīng)常拆卸維護,如需拆卸,請注意永磁鐵的極向,及導磁板的方向。線(xiàn)圈由于安裝的空間密實(shí),請不要使用硬尖的東西撬動(dòng),否則有可能會(huì )造成損壞。