真空鍍膜設備使用步驟

　　1電控柜的操作

　　1)開(kāi)水泵、氣源

　　2)開(kāi)總電源

　　3)開(kāi)維持泵、真空計電源，真空計檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。

　　4)開(kāi)機械泵、予抽，開(kāi)渦輪分子泵電源、啟動(dòng)，真空計開(kāi)關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。

　　5)觀(guān)察渦輪分子泵讀數到達250以后，關(guān)予抽，開(kāi)前機和高閥繼續抽真空，抽真空到達程度后才能開(kāi)右邊的高真空表頭，觀(guān)察真空度。真空到達2×10-3以后才能開(kāi)電子槍電源。

　　2DEF-6B電子槍電源柜的操作

　　1)打開(kāi)總電源

　　2)同時(shí)開(kāi)電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：按電子槍控制Ⅰ電源、延時(shí)開(kāi)關(guān)，延時(shí)、電源及保護燈亮，三分鐘后延時(shí)及保護燈滅，若后門(mén)未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護燈會(huì )常亮。

　　3)開(kāi)高壓，高壓會(huì )達到10KV以上，調節束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉電流在1~1.7之間擺動(dòng)。

　　3關(guān)機順序

　　1)關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。

　　2)待分子泵顯示到50時(shí)，依次關(guān)高閥、前級、機械泵，這期間約需40分鐘。

　　3)到50以下時(shí)，再關(guān)維持泵。