PVD真空鍍膜的簡(jiǎn)介
2019-04-24 來(lái)自: 肇慶高要區恒譽(yù)真空技術(shù)有限公司 瀏覽次數:954
PVD真空鍍膜是在真空中將鈦、金、石墨、水晶等金屬或非金屬、氣體等材料利用濺射、蒸發(fā)或離子鍍等技術(shù),在基材上形成薄膜的一種表面處理過(guò)程。與傳統化學(xué)鍍膜方法相比,真空鍍膜有很多優(yōu)點(diǎn):如對環(huán)境無(wú)污 染,是綠色環(huán)保工藝;對操作者無(wú)傷害;膜層牢固、致密性好、抗腐蝕性強,膜厚均勻。真空鍍膜技術(shù)中經(jīng)常使用的方法主要有:蒸發(fā)鍍膜(包括電弧蒸發(fā)、電子槍蒸發(fā)、電阻絲蒸發(fā)等技術(shù))、濺射鍍膜(包 括直流磁控濺射、中頻磁控濺射、射頻濺射等技術(shù)),這些方法統稱(chēng)物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition), 簡(jiǎn)稱(chēng)為PVD。