真空鍍膜設備選購要點(diǎn)分析

　　真空鍍膜設備選購要點(diǎn)分析如下：

　　1、爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結構。

　　2、根據工藝要求選擇不同規格及類(lèi)型的鍍膜設備，其類(lèi)型有電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、磁控反應濺射、離子鍍、空心陰極離子鍍、多弧離子鍍等。

　　3、夾具運轉形式有自轉、公轉及公轉+自轉方式，用戶(hù)可根據基片尺寸及形狀提出相應要求，轉動(dòng)的速度范圍及轉動(dòng)精度：普通可調及變頻調速等。

　　4、真空系統由機械泵、擴散泵、油增壓泵、增擴泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動(dòng)、手動(dòng)、電動(dòng)閥門(mén)、管道等組成。

　　5、根據工藝要求選擇鍍制方式及形式，如電阻蒸發(fā)(鎢絲、鉬舟、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材質(zhì)及尺寸多弧源(Ф60，Ф80直徑靶材，氣動(dòng)、電動(dòng)的引弧等)，真空測量可選擇數字式智能真空計及其優(yōu)質(zhì)的測量規管，及其它測量?jì)x器，如自動(dòng)壓強控制儀等。膜厚測量可選用方塊電阻測量?jì)x，透過(guò)率計等。

　　6、充氣方式可選用質(zhì)量流量計、浮子流量計 + 針閥及相應的充氣閥門(mén)，并可選擇多路充氣管路及相應流量參數。

　　7、根據需烘烤的結構提出烘烤溫度、材質(zhì)以及所需配備相應儀表測量。

　　8、根據設備使用特點(diǎn)，可選擇手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)或其組合的控制方式。

　　9、完善的報警系統，對真空室體、擴散泵斷相、缺水、氣壓、電源負載的過(guò)壓、過(guò)流等異常情況進(jìn)行聲光報警。