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發(fā)布時(shí)間：2018-09-05濺射機的功能原理
濺射機的基本原理是利用Ar一02混合氣體中的等離子體在電場(chǎng)和交變磁場(chǎng)的作用下，被加速的高能粒子轟擊靶材表面，能量交換后，靶材表面的原子脫離原晶格而逸出，轉移到基體表面而成膜。
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發(fā)布時(shí)間：2018-08-10濺射機的常見(jiàn)技術(shù)有哪些
一、反應濺射，采用以純金屬作為濺射靶材，但在工作氣體中通入適量的活性氣體，使其在濺射淀積的同時(shí)生成特定的化合物，這種在淀積的同時(shí)形成化合物的濺射技術(shù)被稱(chēng)為反應濺射方法。
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