真空鍍膜機是目前制作真空條件應用廣泛的真空設備，一般用真空室、真空機組、電氣控制柜三大部分組成，排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。

　　一、真空主體——真空腔根據加工產(chǎn)品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅實(shí)等，真空腔各部分有連接閥，用來(lái)連接各抽氣泵浦。

　　二、輔助抽氣系統：排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。

　　排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當擴散泵抽真空腔的時(shí)候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。

　　機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用最廣泛的一種低真空泵，它是用油來(lái)保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

　　1.機械泵的分類(lèi)：機械泵有很多種，常用的有滑閥式(此主要應用于大型設備)、活塞往復式、定片式和旋片式(此目前應用最廣泛，本文主要介紹)四種類(lèi)型。

　　2.機械泵是從大氣開(kāi)始工作的，它的主要參數有極限真空，抽氣速率，此為設計與選用機械泵的重要依據。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空，雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕，甚至更高。

　　抽氣速率，是指旋片泵按額定轉數運轉時(shí)，單位時(shí)間內所能排出氣體的體積，可以用下公式計算：Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結束時(shí)空腔截面積，L表示空腔長(cháng)度，系數表示轉子每旋轉一周有兩次排氣過(guò)程，Vs表示當轉子處于水平位置的時(shí)候，吸氣結束，此時(shí)空腔內的體積最大，轉速為n。

　　機械泵排氣的效果還與電機的轉速及皮帶的松緊度有關(guān)系，當電機的皮帶比較松，電機轉速很慢的時(shí)候，機械泵的排氣效果也會(huì )變差，所以要經(jīng)常保養，點(diǎn)檢，機械泵油的密封效果也需要常常點(diǎn)檢，油過(guò)少，達不到密封效果，泵內會(huì )漏氣，油過(guò)多，把吸氣孔堵塞，無(wú)法吸氣和排氣，一般，在油位在線(xiàn)下0.5厘米即可。

　　3.機械泵常常被用來(lái)抽除干燥的空氣，但不能抽除含氧量過(guò)高、有爆炸性和腐蝕性的氣體，機械泵一般被用來(lái)抽除永久性的氣體，但是對水氣沒(méi)有好的效果，所以它不能抽除水氣。

　　旋片泵中起主要作用的部件是定子、轉子、彈片等，轉子在定子里面但與定子不同心軸，象兩個(gè)內切圓，轉子槽內裝有兩片彈片，兩彈片中間裝有彈簧，保證了彈片緊緊貼在定子的內壁。