為盡量減小真空鍍膜機真空室形變帶來(lái)的影響，我們將導軌、絲桿等傳動(dòng)件固定于一個(gè)剛性的中間層上，其與真空室底壁之間采用點(diǎn)、線(xiàn)、面活性支撐，以吸收和隔離形變，并設置形變補償調節機構，在系統抽真，參照有限元計算提供的理論數據預設適當的補償量，以使其在真空狀態(tài)下達到平衡。

　　為了驗證有限元計算的結果，對真空室的形變和補償進(jìn)行了測試。一步，將四只千分表定位在工作臺安裝基點(diǎn)的真空壁外側，當真空室由大氣抽到真空時(shí)，記錄各千分表的變化量，經(jīng)歸一化處理后為用激光自準直儀調整形變補償。

　　由水平調整的自準直儀發(fā)出一束激光穿過(guò)真空室的玻璃窗照射固定于工作臺上的反射鏡，在大氣環(huán)境下調整形變補償調節機構，使反射光束進(jìn)入自準直儀接收視場(chǎng)，記錄兩維角度偏差。

　　按有限元計算(或第1一步測量)的真空狀態(tài)下的補償量再次調整，顯然，此時(shí)的反射光束已遠離自準直儀接收視場(chǎng)，但一旦真空室進(jìn)入真空狀態(tài)，反射光束又重新進(jìn)入自準直儀的接收視場(chǎng)，記錄此時(shí)的兩維角度偏差。前后兩次顯示的兩維角度偏差基本吻合。

　　工作臺運動(dòng)副的潤滑及對真空環(huán)境的影響工作臺的掃描是處于真空室環(huán)境下的頻繁運動(dòng)，除用滾動(dòng)代替滑動(dòng)來(lái)降低摩擦系數外，在導軌、絲桿等運動(dòng)副之間采取良好的潤滑是保證刻蝕裝置長(cháng)時(shí)間正常運行的必要條件。

　　真空中的潤滑的方式通常有鍍固體潤滑膜和直接使用潤滑劑等鍍膜容易破壞導軌的運動(dòng)精度，且工藝復雜。