多弧鍍膜機工作原理
2017-12-27 來(lái)自: 肇慶高要區恒譽(yù)真空技術(shù)有限公司 瀏覽次數:1478
多弧鍍膜機工作原理
多弧鍍膜機是一種高效、無(wú)害、無(wú)污染的離子鍍膜設備,具有堆積速度快、離化率高、離子能量大、設備操作簡(jiǎn)略、本錢(qián)低、出產(chǎn)量大的長(cháng)處。
真空多弧鍍膜機偏壓電源的作業(yè)原理
離子鍍膜正本是離子濺射鍍膜,關(guān)于導電靶材,運用直流偏壓電源;非導電靶材,運用脈沖偏壓電源。有的多弧離子鍍膜機,可能還需求直流電弧電源或脈沖電弧電源
偏壓電源正本即是在陰極和樣品所在位置的陽(yáng)極之間構成偏壓電場(chǎng),通常是陰極加負高壓。陰極外表的自由電子在電場(chǎng)效果下定向加快發(fā)射,發(fā)射電子炮擊氣體分子,使之電離,并且氣體被驅出的電子被電場(chǎng)加快,持續電離別的氣體分子,接二連三,構成雪崩效應,氣體被擊穿,構成穩定的電離電流。此刻離子也被加快,炮擊靶材,將靶材中的原子驅除出外表,并堆積在樣品外表。