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關(guān)于磁控鍍膜機運行原理和特點(diǎn)

2020-04-01  來(lái)自: 肇慶高要區恒譽(yù)真空技術(shù)有限公司 瀏覽次數:857

  

  對于真空設備行業(yè)了解不深的朋友,大多數都不太清楚磁控濺射真空鍍膜機在運行的過(guò)程中,應該注意和具備哪些事項,包括它的運行環(huán)境要求標準和運營(yíng)原理,下面小編為大家詳細的介紹一下,讓大家對磁控濺射真空鍍膜機能夠有一個(gè)全新的認識。

  其實(shí)各種鍍膜技術(shù)都是需要一個(gè)特定的真空環(huán)境,以保證制膜材料在加熱蒸發(fā)或濺射過(guò)程中所形成蒸氣分子的運動(dòng),能不致受到大氣中大量氣體分子的碰撞、阻擋和干擾,并消除大氣中雜質(zhì)的不良影響。

  并且,各種鍍膜技術(shù)都需要有一個(gè)蒸發(fā)源或靶子,以便把蒸發(fā)制膜的材料轉化成氣體。由于源或靶的不斷改進(jìn),大大擴大了制膜材料的選用范圍,無(wú)論是金屬、金屬合金、金屬間化合物、陶瓷或有機物質(zhì),都可以蒸鍍各種金屬膜和介質(zhì)膜,而且還可以同時(shí)蒸鍍不同材料而得到多層膜。

  接著(zhù)蒸發(fā)或濺射出來(lái)的制膜材料,在與待鍍的工件生成薄膜的過(guò)程中,在一般的磁控濺射條件下。對其膜厚可進(jìn)行比較精確的測量和控制,磁控濺射真空鍍膜機,真空鍍膜技術(shù)的特點(diǎn),真空鍍膜技術(shù)主要有真空蒸發(fā)鍍、真空濺射鍍、真空離子鍍、真空束流沉積、化學(xué)氣相沉積等多種方法。除化學(xué)氣相沉積法外,其他幾種方法均具有一些共同特點(diǎn):比如,各種鍍膜技術(shù)都需要一個(gè)特定的真空環(huán)境,光學(xué)鍍膜隨處可見(jiàn)。以保證制膜材料在加熱蒸發(fā)或濺射過(guò)程中所形成蒸氣分子的運動(dòng),不致受到大氣中大量氣體分子的碰撞、阻擋和干擾,并消除大氣中雜質(zhì)的不良影響。各種鍍膜技術(shù)都需要有一個(gè)蒸發(fā)源或靶子,以便把蒸發(fā)制膜的材料轉化成氣體。

  由于源或靶的不斷改進(jìn),大大擴大了制膜材料的選用范圍,無(wú)論是金屬、金屬合金、金屬間化合物、陶瓷或有機物質(zhì),都可以蒸鍍各種金屬膜和介質(zhì)膜,而且還可以同時(shí)蒸鍍不同材料而得到多層膜。蒸發(fā)或濺射出來(lái)的制膜材料,在與待鍍的工件生成薄膜的過(guò)程中,對其膜厚可進(jìn)行比較精確的測量和控制,從而保證膜厚的均勻性。每種薄膜都可以通過(guò)微調閥精確地控制鍍膜室中殘余氣體的成分和質(zhì)量分數,從而防止蒸鍍材料的氧化,把氧的質(zhì)量分數降低到小的程度,還可以充入惰性氣體等,這對于濕式鍍膜而言是無(wú)法實(shí)現的。由于鍍膜設備的不斷改進(jìn),鍍膜過(guò)程可以實(shí)現連續化,從而大大地提高產(chǎn)品的產(chǎn)量,而且在生產(chǎn)過(guò)程中對環(huán)境無(wú)污染

關(guān)鍵詞: 磁控鍍膜機           

肇慶市高要區恒譽(yù)真空技術(shù)有限公司主要產(chǎn)品有:手機鍍膜機,光學(xué)鍍膜機,塑料鍍鋁機,PVD鍍膜機,光學(xué)鏡片鍍膜機,鈦金爐,多弧鍍膜機,pvd真空電鍍,離子鍍膜機,鍍鈦機,陶瓷鍍膜機,濺射鍍膜機,卷繞鍍膜機,真空鍍膜機,鍍膜機,離子鍍,真空電鍍機,真空鍍膜設備等系列。


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