車(chē)燈鍍膜機技術(shù)配置介紹
2020-05-12 來(lái)自: 肇慶高要區恒譽(yù)真空技術(shù)有限公司 瀏覽次數:854
車(chē)燈鍍膜機技術(shù)配置介紹
腔體結構: 立式前開(kāi)門(mén),臥式前開(kāi)門(mén),后置真空獲得系統
材質(zhì)用料: 腔體均采用不銹鋼
制膜種類(lèi):蒸發(fā)鍍鋁+硅油保護膜
硅油重合:采用美國MKS硅油流量閥,全不銹鋼硅油存儲與輸出裝置。
轉動(dòng)系統:變頻調速,可6軸或8軸轉動(dòng)系統(可定制)
電源系統:蒸發(fā)電源+轟擊電源
真空系統:擴散泵(可選分子泵)+羅茨泵+機械泵+維持泵+深冷系統(可選)
氣體控制:質(zhì)量流量控制儀+電磁閥
離子清洗:配備高壓離子轟擊清洗系統
蒸 發(fā) 源:搭配多組轉為車(chē)燈鍍膜全新研發(fā)電阻蒸發(fā)源
智能控制: PLC智能控制+HMI全彩人機觸控界面,實(shí)現全自動(dòng)控制
報警及保護:異常情況進(jìn)行報警,并執行相應保護措施。